| 適用行業(yè) | 適用于半導體行業(yè) |
| 適用產(chǎn)品 | 半導體行業(yè)產(chǎn)品 |
| 型 號 | XTS-600 | XTS-800 |
| 系 統(tǒng) | 采用特制耐高溫長軸型馬達及強力多翼式風葉，強力吸風式機械可得到最佳均勻分布溫度，安靜低噪音，節(jié)約能源。 |
| 外部電源 | 可提供各國電源如110V/220V/380V/415V...（50/60）Hz |
| 消耗電力 | 8KW | 12KW |
| 溫度范圍 | RT+20-200℃ |
| 溫度波動度 | ±1℃ |
| 溫度均勻度 | 空載時：±2.5%℃ |
| 升溫時間 | 空載時：50-200℃在40分鐘內 |
| 材 質 | 內中桶#SUS鏡面不銹鋼板，內室無縫焊接保護被加工件不受任何污染，外部#SS41鋼板粉體烤漆，高密度進口玻璃纖維棉隔熱保溫 |
| 發(fā)熱體 | 特制無塵散熱管型電熱器 |
| 安全裝置 | 超溫防止保護裝置，馬達過熱電流保護，短路過電流，欠相保護 |
| 溫度控制 | 輸入：CAK型，SSR（SCR）接點方式輸入，精確度特加，自動PID控制，LED數(shù)字顯示 |
| 設備特點 | 潔凈度：100級 或 1000級 |
| 內部尺寸:寬深高 | 600*600*1000 | 800*800*1000 |
| 標準配件 | 高效過濾器、微差壓力計、計時器、可調隔層板、單段式溫度控制器 |
| 選擇品 | 1點（多點）溫度記錄器、可程式溫度控制器、不銹鋼沖孔盤、馬達轉速調節(jié)器、三（四）色指示燈 |
