| 適用行業(yè) | 適用于半導(dǎo)體行業(yè) |
| 適用產(chǎn)品 | 半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品 |
| 型 號(hào) | XTS-600 | XTS-800 |
| 系 統(tǒng) | 采用特制耐高溫長(zhǎng)軸型馬達(dá)及強(qiáng)力多翼式風(fēng)葉，強(qiáng)力吸風(fēng)式機(jī)械可得到最佳均勻分布溫度，安靜低噪音，節(jié)約能源。 |
| 外部電源 | 可提供各國(guó)電源如110V/220V/380V/415V...（50/60）Hz |
| 消耗電力 | 8KW | 12KW |
| 溫度范圍 | RT+20-200℃ |
| 溫度波動(dòng)度 | ±1℃ |
| 溫度均勻度 | 空載時(shí)：±2.5%℃ |
| 升溫時(shí)間 | 空載時(shí)：50-200℃在40分鐘內(nèi) |
| 材 質(zhì) | 內(nèi)中桶#SUS鏡面不銹鋼板，內(nèi)室無(wú)縫焊接保護(hù)被加工件不受任何污染，外部#SS41鋼板粉體烤漆，高密度進(jìn)口玻璃纖維棉隔熱保溫 |
| 發(fā)熱體 | 特制無(wú)塵散熱管型電熱器 |
| 安全裝置 | 超溫防止保護(hù)裝置，馬達(dá)過(guò)熱電流保護(hù)，短路過(guò)電流，欠相保護(hù) |
| 溫度控制 | 輸入：CAK型，SSR（SCR）接點(diǎn)方式輸入，精確度特加，自動(dòng)PID控制，LED數(shù)字顯示 |
| 設(shè)備特點(diǎn) | 潔凈度：100級(jí) 或 1000級(jí) |
| 內(nèi)部尺寸:寬深高 | 600*600*1000 | 800*800*1000 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 高效過(guò)濾器、微差壓力計(jì)、計(jì)時(shí)器、可調(diào)隔層板、單段式溫度控制器 |
| 選擇品 | 1點(diǎn)（多點(diǎn)）溫度記錄器、可程式溫度控制器、不銹鋼沖孔盤、馬達(dá)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)器、三（四）色指示燈 |
